半導(dǎo)體刻蝕工藝須使用-80℃防爆復(fù)疊式冷水機(jī)組的主要原因，對比普通冷水機(jī)短板，說明復(fù)疊機(jī)組在精密制程中的不可替代性。

         很多半導(dǎo)體新建產(chǎn)線在設(shè)備選型階段容易出現(xiàn)誤區(qū)，嘗試使用單級低溫冷水機(jī)替代復(fù)疊機(jī)組用于刻蝕冷卻，結(jié)果出現(xiàn)低溫不達(dá)標(biāo)、溫控不穩(wěn)、制程偏差、設(shè)備頻繁報警等問題。本質(zhì)原因是半導(dǎo)體刻蝕深冷制程對制冷設(shè)備的低溫下限、穩(wěn)定度、安全等級要求遠(yuǎn)大于普通工業(yè)場景，這也是-80℃防爆復(fù)疊式冷水機(jī)組成為行業(yè)標(biāo)配的主要原因。

         1，從溫度區(qū)間來看，普通單級冷水機(jī)極限溫度較高，無法穩(wěn)定達(dá)到-80℃深冷工況，即使勉強(qiáng)達(dá)到目標(biāo)溫度，也會出現(xiàn)制冷效率大幅下降、冷量嚴(yán)重衰減的問題，無法帶走刻蝕設(shè)備持續(xù)產(chǎn)生的熱量，導(dǎo)致腔體溫度回升、工藝失效。復(fù)疊機(jī)組采用雙級循環(huán)結(jié)構(gòu)，專門針對極低溫工況設(shè)計，低溫段制冷效率高、溫度穩(wěn)定，可長期維持標(biāo)準(zhǔn)制程溫度。

          2，從工藝精度角度分析，刻蝕制程需要極低溫度波動，復(fù)疊機(jī)組控溫精度高、冷量輸出均勻，能夠穩(wěn)定控制等離子反應(yīng)狀態(tài)，保證刻蝕深度、側(cè)壁均勻性一致，大幅提升晶圓良品率。普通設(shè)備波動大、響應(yīng)慢，無法滿足精密制程重復(fù)性要求。

          3，從車間安全規(guī)范來看，半導(dǎo)體精密車間設(shè)備密集、工藝價值高，對電氣防爆、防靜電、防過載要求嚴(yán)格。防爆復(fù)疊冷水機(jī)組經(jīng)過專項安全改造，適配半導(dǎo)體車間安全標(biāo)準(zhǔn)，可有效規(guī)避常規(guī)設(shè)備的運(yùn)行隱患，保障產(chǎn)線長期安全穩(wěn)定生產(chǎn)。

         綜合溫度能力、工藝精度、安全標(biāo)準(zhǔn)、連續(xù)運(yùn)行四大維度，-80℃防爆復(fù)疊式冷水機(jī)組是半導(dǎo)體刻蝕工藝適配性較強(qiáng)的專用制冷設(shè)備。江蘇康士捷可提供專業(yè)化選型評估與定制化設(shè)備配套服務(wù)。

|FAQ

Q：能否用普通低溫冷水機(jī)替代復(fù)疊機(jī)組？ 

A：無法替代，普通機(jī)組低溫效率低、控溫不穩(wěn)，會造成半導(dǎo)體精密制程偏差。

Q：復(fù)疊機(jī)組核心優(yōu)勢是什么？

 A：低溫可達(dá)性強(qiáng)、控溫穩(wěn)定、負(fù)荷響應(yīng)快、安全等級高、適配精密半導(dǎo)體工藝。